電子能量損失譜的數(shù)據(jù)采集和譜圖處理及在3d過(guò)渡族元素譜圖中的應(yīng)用
發(fā)布日期：2006-08-23
瀏覽數(shù)：1090
【作者】：鐘????，朱靜 【單位】：清華大學(xué)材料與工程系電子顯微鏡實(shí)驗(yàn)室，北京 100084 【摘要】： 本工作以有序Ni3Fe樣品的電子能量損失譜EELS(electron energy loss spectroscopy)的采集、處理和分析為例，敘述了內(nèi)置（Ω型）與后置能量過(guò)濾器在采集和處理電子能量損失譜的工作原理、處理步驟以及注意要點(diǎn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：在采集譜圖過(guò)程中，內(nèi)置Ω型能量過(guò)濾器零峰非常穩(wěn)定，后置GIF(gatan image filter)能量過(guò)濾器可以節(jié)約采集過(guò)程中處理譜圖的時(shí)間。在處理譜圖時(shí)發(fā)現(xiàn)，利用Ω型能量過(guò)濾器采集的電子能量損失譜中譜圖的背底曲線(xiàn)與理論擬合結(jié)果偏差很大；本文提出了通過(guò)數(shù)據(jù)處理給出的校正因子可以很好地彌補(bǔ)這一偏差。由于Ω型能量過(guò)濾器的物距較小，常伴隨有衍射點(diǎn)在零峰附近，所以無(wú)論樣品厚度如何，由Ω型能量過(guò)濾器采集的電子能量損失譜必須扣除多重散射的影響。
