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TEM金屬薄膜樣品的制備方法

發(fā)布日期:2012-07-23 瀏覽數(shù):634

(1)用線切割機(jī)將樣品切割成0.5~1mm薄片,。


(2)用水砂紙由粗到細(xì)(一般最細(xì)到1000#砂紙)將試樣的兩面磨光、磨薄,,厚度50μm左右,。此步驟也可用化學(xué)方法減薄。


(3)用沖孔機(jī)等將薄片剪成φ3mm的小圓片,,剪掉并磨平圓片邊緣的毛邊,。


(4)用雙噴電解拋光儀將樣品減薄并穿孔。


  為防止樣品氧化,,電解也要冷卻至-20℃左右,。電解液、電流,、電壓根據(jù)試樣的具體情況選定,。最佳狀態(tài)制成的薄膜樣品表面平滑、光亮,。


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