SPM探針制造技術(shù)的研究和發(fā)展
發(fā)布日期：2008-09-01
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【作者】：傅惠南 ,，王宏霞，王曉紅,，區(qū)仲榮 【單位】：廣東工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院,，廣東 廣州 510090 【摘要】： 探針是掃描探針顯微鏡的核心部分,，結(jié)構(gòu)及針尖的表面狀態(tài)會影響此類儀器的操作性、可控制性,、工作穩(wěn)定性,、可靠性以及其它性能的發(fā)揮。探針及其相關(guān)技術(shù)的研究進(jìn)展成為人們十分關(guān)注的問題,。探針對表面物理信息的檢測是一個針尖與試樣表面相互作用的過程,，包含物理、幾何關(guān)系,，還包含表面微觀化學(xué)作用及其它微觀因素的影響,。本文探討探針與表面相互作用關(guān)系，并就近些年探針技術(shù)發(fā)展討論探針性能?p針尖及相應(yīng)結(jié)構(gòu)的改進(jìn)，探針功能的拓展以及功能的組合,，討論相關(guān)制備技術(shù)方法,、特點和相應(yīng)檢測條件、適用環(huán)境等,。
